概述SMC2通气控阀,SMC安装要求

概述SMC2通气控阀,SMC安装要求
特长 温度稳定性高、温度调节范围宽、具有故障诊断外部通信，多用于半导体工艺设备。
适用各种安全标准。
CAD 设定温度范围 冷却能力 温度稳定性 冷却方式 循环液
HRZ  -20～90℃ 1.8～10kW ±0.1℃ 水冷冷冻式 氟素化液
特长 在HRZ系列高的基础上，采用了DC变频压缩机，实现了省能化。
兼备广泛的温度调节范围和冷却能力范围。
适用于更新周期短的半导体器件，可以灵活地响应不断变化的工艺条件。

概述SMC2通气控阀,SMC安装要求

功能简介:

气控阀介质流动方向应与阀体箭头方向一致，可以外接导压管装置出厂前均通过压力试验，安装时严禁损伤导压装置;阀上的1/2管接头应安装在水泵入口处;可水平安装也可以垂直安装;限流止回阀的需求扬程大于0.1MPa时，先逆时针把四通开大，然后再顺时针逐渐关闭调压阀，关闭过程中出口压力会逐渐增大，直至出口压力为需要扬程时，即完成初调节，反复启闭水泵2-3次，每次运行3-5分钟，出口压力不变即完成调试工作;视水质情况应经常检查出口压力值，当出口压力小于设定值时，应开启过滤器排除污物。

按动作方式分类，可分为直动式和先导式。直接依靠电磁力、气压力、人力和机械力使阀芯换向的阀，称为直动式换向阀。直动式阀的通径较小。先导式气阀由先导阀和主阀组成，依靠先导阀输出的气压力，通过控制活塞等推动主阀芯换向的那部分称为主阀。通径大的换向阀大都为先导式换向阀。先导阀又分成内部先导式和外部先导式。先导控制的气源是主阀提供的为内部先导式；先导控制的气源是外部供给的为外部先导式。外部先导式换向阀切换不受换向阀使用压力大小的影响，故换向阀可在低压或真空压力条件下工作。

专门用于气动系统和气液回路控制

●正反向流动都可能的平衡座阀式

●气控式、外部先导式电磁阀

产品型号:

SMC CDQ2A40-100DMZ-M9BL

SMC JC40-14-150

ITV3050-04F3CL 

CM2B32-300Z 

CDJ2E16-200Z-B 

MBL50-600Z

C96SDB125-75W

C96SDB125-85W

MBB80-100Z 

CDQ2D12-10DMZ

MKB25-20RZ

MKB25-20LZ

SMC MHY2-20D

SMC CDM2B40-450AZ

SMC SY7340-5LOZ

AW30-N02-2-B-X430 过滤减压阀

AS2052F-08  调速阀

VBA42A-04GN

V114T-5GZ